三甲基氯硅烷又称氯化三甲基硅烷，英文名称Trimethylchlorosilane、Chlorotrimethylsilane，无色易挥发易燃液体。熔点-57.7℃（-40℃），沸点57.7，相对密度（20/4℃）0.86，折光率1.3885。溶于苯、乙醚和全氯乙烯。遇水即水解，释出游离盐酸。

三甲基氯硅烷的生产工艺：氯甲烷与硅粉在氯化亚铜催化下一步直接合成，生成甲基氯硅烷混合物，经精馏提纯可得三甲基氯硅烷及其他单体。实验室制备可将四甲基硅烷与乙酰氯在三氯化铝存在下反应。

三甲基氯硅烷的用途：常用的有机合成中间体，主要用作生产有机硅聚合物及其他产品的中间体，还用作高分子化合物封头剂、干燥剂、脱水剂、高温粘合剂及树脂的原料。在医药生产中用于头孢菌素Ⅰ、头孢菌素V的合成。