一甲基三氯硅烷又称甲基硅仿，英文名称methyltrichlorosilane、methyl silicochloroform。有刺激性的无色易燃液体，沸点65.7℃，熔点-78℃，自燃温度395℃，相对密度1.2765，折射率1.4120，闪点8.3℃。溶于苯、醚。极易水解，放出氯化氢，生成甲基硅三醇的缩合物。蒸气和液体能造成皮肤烧伤，吸入有毒。

一甲基三氯硅烷的生产工艺：可由硅粉在铜催化剂存在下，与氯甲烷于300℃左右反应来制取。

一甲基三氯硅烷的用途：本品可用于生产各种有机硅化合物，是生产防水剂、气相法白炭黑、甲基硅树脂和聚硅氧烷的主要原料。